Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

PDP/EUV 플라스마 소스특성 및 진단기술

  • 최은하 (광운대학교 전자물리학과/PDP 연구센터) ;
  • 손창길 (광운대학교 전자물리학과/PDP 연구센터) ;
  • 한용규 (광운대학교 전자물리학과/PDP 연구센터) ;
  • 홍영준 (광운대학교 전자물리학과/PDP 연구센터)
  • Published : 2009.02.11
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Abstract

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