Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

듀얼 마그네트론 스퍼터링 공정을 고품위 투명전도성 박막 형성 및 특성 평가

  • 김도근 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
  • 김종국 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
  • 김동성 (이엔테크놀로지(주)) ;
  • 한희민 (이엔테크놀로지(주))
  • Published : 2009.08.19
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