Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Bipolar pulsed DC magnetron sputtering에서 동적증착에 의한 zigzagged structure의 Al:ZnO 박막 특성

  • 양원균 (군산대학교 신소재공학과, 플라즈마 소재응용센터(PMRC)) ;
  • 최지성 (군산대학교 신소재공학과, 플라즈마 소재응용센터(PMRC)) ;
  • 도우리 (군산대학교 신소재공학과, 플라즈마 소재응용센터(PMRC)) ;
  • 주정훈 (군산대학교 신소재공학과, 플라즈마 소재응용센터(PMRC))
  • Published : 2009.08.19
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