한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2009년도 제37회 하계학술대회 초록집
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- Pages.397-397
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- 2009
$NH_3$ 와 $N_2O$ 플라즈마 처리를 한 TFT의 Hot Carrier Stress 측정 결과 특성 분석
- 이원백 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과) ;
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- 정성욱 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과) ;
- 장경수 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과) ;
- 박형식 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과) ;
- 조재현 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과) ;
- 공대영 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과) ;
- 이준신 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과)
- Lee, Won-Baek ;
- Duy, Nguyen Van ;
- Jeong, Seong-Uk ;
- Jang, Gyeong-Su ;
- Park, Hyeong-Sik ;
- Jo, Jae-Hyeon ;
- Gong, Dae-Yeong ;
- Lee, Jun-Sin
- 발행 : 2009.08.19