Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.08a
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- Pages.387-387
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- 2009
환상형타겟 마그네트론 스퍼터링 장치 개발
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Kim, Yong-Hyeon
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- Kim, Yeong-U ;
- Kim, Dae-Cheol ;
- Kim, Jong-Sik ;
- Yu, Seok-Jae ;
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Lee, Bong-Ju
;
- Yun, Jeong-Sik
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김용현
(국가핵융합연구소) ;
- 김영우 (국가핵융합연구소) ;
- 김대철 (국가핵융합연구소) ;
- 김종식 (국가핵융합연구소) ;
- 유석재 (국가핵융합연구소) ;
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이봉주
(국가핵융합연구소) ;
- 윤정식 (국가핵융합연구소)
- Published : 2009.08.19
Abstract
Keywords