플라즈마 방식으로 증착 된 산화 막의 굴절률 계수와 후속 식각공정의 연관성에 관한 연구

• 서문희 (삼성전자공과대학교 반도체학과) ;
• 김동환 (삼성전자공과대학교 반도체학과) ;
• 허문 (삼성전자(주)) ;
• 나원필 (삼성전자(주)) ;
• 최정희 (삼성전자(주)) ;
• 최철환 (삼성전자(주)) ;
• 황성준 (삼성전자(주)) ;
• 이주범 (삼성전자(주))

• Seo, Mun-Hui ;
• Kim, Dong-Hwan ;
• Heo, Mun ;
• Na, Won-Pil ;
• Choe, Jeong-Hui ;
• Choe, Cheol-Hwan ;
• Hwang, Seong-Jun ;
• Lee, Ju-Beom

• 발행 : 2009.08.19

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