부유탐침을 이용한 플라즈마 측정법에서의 인가 주파수 영향의 보정 및 쉬스 임피던스 측정 방법

  • 최명선 (서울대학교 에너지시스템공학부) ;
  • 이석환 (서울대학교 에너지시스템공학부) ;
  • 김곤호 (서울대학교 에너지시스템공학부)
  • 발행 : 2009.08.19