동축전극 구조의 플라스마 집속 장치의 Anode 전극 재질에 따른 EUV (Extreme Ultraviolet) intensity 측정

• 홍영준 (광운대학교 전자물리학과 / PDP 연구센터) ;
• 권도연 (광운대학교 전자물리학과 / PDP 연구센터) ;
• 윤은진 (광운대학교 전자물리학과 / PDP 연구센터) ;
• 이진영 (광운대학교 전자물리학과 / PDP 연구센터) ;
• 신흥수 (광운대학교 전자물리학과 / PDP 연구센터) ;
• 최은하 (광운대학교 전자물리학과 / PDP 연구센터)

• Hong, Yeong-Jun ;
• Gwon, Do-Yeon ;
• Yun, Eun-Jin ;
• Lee, Jin-Yeong ;
• Sin, Heung-Su ;
• Choe, Eun-Ha

• 발행 : 2009.08.19

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