SIMS을 이용한 Si/Ge MultiLayer 두께 측정 방법

  • 이은경 (한국표준과학연구원 나노소재측정센터) ;
  • 장종식 (한국표준과학연구원 나노소재측정센터) ;
  • 김경중 (한국표준과학연구원 나노소재측정센터) ;
  • 문대원 (한국표준과학연구원 나노바이오융합센터)
  • 발행 : 2009.08.19