rf-magnetron sputter 증착기술을 이용한 태양전지용 p형 비정질 실리콘 박막의 특성분석

• 이성현 (한국전자통신연구원, 차세대태양광연구본부, 박막태양광기술연구팀) ;
• 윤선진 (한국전자통신연구원, 차세대태양광연구본부, 박막태양광기술연구팀) ;
• 김제하 (한국전자통신연구원, 차세대태양광연구본부, 박막태양광기술연구팀) ;
• 임정욱 (한국전자통신연구원, 차세대태양광연구본부, 박막태양광기술연구팀)

• Lee, Seong-Hyeon ;
• Yun, Seon-Jin ;
• Kim, Je-Ha ;
• Im, Jeong-Uk

• 발행 : 2009.08.19

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