Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.08a
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- Pages.238-238
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- 2009
신규 Ge precursor를 이용한 Ge 박막 및 GST 박막 제조와 특성 연구
- Han, Seong-Won ;
- Jeong, Jae-Seon ;
- Seong, Gi-Hwan ;
- Sin, Ung-Cheol ;
- Yun, Su-Hyeong ;
- Lee, Sang-Gyeong
- 한성원 (테크노 세미켐 박막재료개발팀) ;
- 정재선 (테크노 세미켐 박막재료개발팀) ;
- 성기환 (테크노 세미켐 박막재료개발팀) ;
- 신웅철 ((주)엔씨디 테크놀러지) ;
- 윤수형 (테크노 세미켐 박막재료개발팀) ;
- 이상경 (테크노 세미켐 박막재료개발팀)
- Published : 2009.08.19
Abstract
Keywords