Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

전자빔 처리를 통한 저온공정으로 제작된 Ultra Thin $SiO_2$ 유전박막의 특성향상에 관한 연구

  • 정철우 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
  • 공영민 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
  • 김대일 (울산대학교 첨단소재공학부)
  • Published : 2009.08.19
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