Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Role of a passivation layer in superconformal copper gap-fill by chemical vapor deposition

  • 문학기 (성균관 대학교 신소재 공학부) ;
  • 김선일 (성균관 대학교 신소재 공학부) ;
  • 박영록 (성균관 대학교 신소재 공학부) ;
  • 이내응 (성균관 대학교 신소재 공학부)
  • Published : 2009.08.19
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