Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.08a
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- Pages.203-203
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- 2009
$SiO_2/SiN_x$ 터널 절연막의 적층에 따른 비휘발성 메로리 소자 응용
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Kim, Eun-Gyeom
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- An, Seung-Man ;
- Im, Tae-Gyeong ;
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Won, Seong-Hwan
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Hong, Wan-Sik
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Seok, Jung-Hyeon
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Jo, Won-Ju
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Park, Gyeong-Wan
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김은겸
(서울시립대학교 나노공학과) ;
- 안승만 (서울시립대학교 나노과학기술학과) ;
- 임태경 (서울시립대학교 나노과학기술학과) ;
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원성환
(서울시립대학교 나노공학과) ;
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홍완식
(서울시립대학교 나노공학과) ;
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석중현
(서울시립대학교 나노공학과) ;
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조원주
(광운대학교 전자재료공학과) ;
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박경완
(서울시립대학교 나노공학과)
- Published : 2009.08.19
Abstract
Keywords