$SiO_2/SiN_x$ 터널 절연막의 적층에 따른 비휘발성 메로리 소자 응용

• Kim, Eun-Gyeom ;
• An, Seung-Man ;
• Im, Tae-Gyeong ;
• Won, Seong-Hwan ;
• Hong, Wan-Sik ;
• Seok, Jung-Hyeon ;
• Jo, Won-Ju ;
• Park, Gyeong-Wan

• 김은겸 (서울시립대학교 나노공학과) ;
• 안승만 (서울시립대학교 나노과학기술학과) ;
• 임태경 (서울시립대학교 나노과학기술학과) ;
• 원성환 (서울시립대학교 나노공학과) ;
• 홍완식 (서울시립대학교 나노공학과) ;
• 석중현 (서울시립대학교 나노공학과) ;
• 조원주 (광운대학교 전자재료공학과) ;
• 박경완 (서울시립대학교 나노공학과)

• Published : 2009.08.19

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