Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

비휘발성 메모리 적용을 위한 고유전율 $HfO_2$ 물질의 두께에 따른 전하 트랩핑 특성

  • 유희욱 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 김민수 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 박군호 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 이영희 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 정홍배 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 조원주 (광운대학교 전자재료공학과)
  • Published : 2009.08.19
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