Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

실리콘 (111) 기판 위에 저온 AlN 층을 이용한 crack-free AlGaN/GaN 이종접합구조 성장에 관한 연구

  • 김동석 (경북대학교 대학원 전자전기컴퓨터학부) ;
  • 곽은환 (경북대학교 대학원 전자전기컴퓨터학부) ;
  • 이성길 (경북대학교 대학원 전자전기컴퓨터학부) ;
  • 김기원 (경북대학교 대학원 전자전기컴퓨터학부) ;
  • 양충모 (경북대학교 대학원 전자전기컴퓨터학부) ;
  • 이정희 (경북대학교 대학원 전자전기컴퓨터학부)
  • Published : 2009.08.19
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Abstract

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