화학증착공정용 전구체의 분해도 평가 및 진단 연구

• Seo, Gyeong-Cheon ;
• Gang, Sang-U ;
• No, Seung-Wan ;
• Jeon, Gi-Mun ;
• Sin, Jae-Su ;
• Lee, Chang-Hui ;
• Sin, Yong-Hyeon ;
• Yun, Ju-Yeong

• 서경천 (대전대학교 신소재공학과) ;
• 강상우 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
• 노승완 (대전대학교 신소재공학과) ;
• 전기문 (대전대학교 신소재공학과) ;
• 신재수 (대전대학교 신소재공학과) ;
• 이창희 (혜전대학) ;
• 신용현 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
• 윤주영 (한국표준과학연구원 진공센터)

• Published : 2009.08.19

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