PECVD로 증착한 InSb 적외선 감지소자용 $Si_3N_4$ 절연막에 대한 연구

• Lee, Jae-Yeol ;
• Kim, Jeong-Seop ;
• Park, Se-Hun ;
• Kim, Jin-Seok ;
• Kim, Eun-Gyu ;
• Yun, Ui-Jun

• 이재열 (서울대학교 재료공학부) ;
• 김정섭 (서울대학교 재료공학부) ;
• 박세훈 (서울대학교 재료공학부) ;
• 김진석 (한양대학교 물리학과) ;
• 김은규 (한양대학교 물리학과) ;
• 윤의준 (서울대학교 재료공학부)

• Published : 2009.08.19

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