Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.08a
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- Pages.145-145
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- 2009
대면적 수직형 LED의 N-face n-GaN에서의 $O_2$ plasma 표면처리를 통한 Ti/Al 오믹전극 및 저저항 구현
- Nam, Tae-Yang ;
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Jo, Yeong-Chang
;
- Kim, Dong-Ho ;
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Kim, Su-Jin
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- Lee, Wan-Ho ;
- Lee, Byeong-Gyu ;
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Kim, Tae-Geun
- 남태양 (고려대학교 전기전자전파공학부) ;
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조영창
(전자부품연구원 메디컬IT연구센터) ;
- 김동호 (고려대학교 전기전자전파공학부) ;
-
김수진
(고려대학교 전기전자전파공학부) ;
- 이완호 (고려대학교 전기전자전파공학부) ;
- 이병규 (고려대학교 전기전자전파공학부) ;
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김태근
(고려대학교 전기전자전파공학부)
- Published : 2009.08.19
Abstract
Keywords