Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.08a
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- Pages.138-138
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- 2009
Characterization of the Interface & $ZrO_2$ film fabricated by Atomic Layer Deposition method
- Park, Yun-Baek ;
- Yeon, Tae-Won ;
- Choe, Min-Gi ;
- Ha, Min-Su ;
- Go, Jung-Gyu ;
- Gil, Deok-Sin ;
- Kim, Ho-Jeong
- 박윤백 (하이닉스 반도체(주)) ;
- 연태원 (하이닉스 반도체(주)) ;
- 최민기 (하이닉스 반도체(주)) ;
- 하민수 (하이닉스 반도체(주)) ;
- 고중규 (하이닉스 반도체(주)) ;
- 길덕신 (하이닉스 반도체(주)) ;
- 김호정 (하이닉스 반도체(주))
- Published : 2009.08.19
Abstract
Keywords