스퍼터링으로 PET 위에 코팅된 ITO박막의 특성

  • 양지훈 (포항산업과학연구원, 융합공정연구본부) ;
  • 정재인 (포항산업과학연구원, 융합공정연구본부) ;
  • 이영민 (포항산업과학연구원, 융합공정연구본부) ;
  • 장승현 (포항산업과학연구원, 융합공정연구본부)
  • 발행 : 2009.08.19