펄스이온빔과 기판 냉각법을 이용한 실리콘 나노미립자 제작

  • 최병정 (전북대학교 전기공학과) ;
  • 이철홍 (전북대학교 전기공학과) ;
  • 김영기 (전북대학교 전기공학과) ;
  • 양성채 (전북대학교 전기공학과)
  • 발행 : 2009.08.19