Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

이온빔 스퍼터링을 이용해 제작한 $SiO_2$/Zr dots/$SiO_2$ 구조의 비휘발성 메모리 특성

  • 홍승휘 (경희대학교 물리학과) ;
  • 김민철 (경희대학교 물리학과) ;
  • 최석호 (경희대학교 물리학과) ;
  • 김경중 (한국표준과학연구원 나노소재측정센터)
  • Published : 2009.08.19
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