한국신재생에너지학회:학술대회논문집
- 한국신재생에너지학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.176-179
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- 2009
인라인 스퍼터링법에 의한 ZnO:Al 박막 증착 및 습식 식각에 따른 표면 형상 제어
Control of surface morphologies of textured ZnO:Al films prepared by in-line RF-magnetron sputtering
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김영진
(한국에너지기술연구원 태양광연구단) ;
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조준식
(한국에너지기술연구원 태양광연구단) ;
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박상현
(한국에너지기술연구원 태양광연구단) ;
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윤경훈
(한국에너지기술연구원 태양광연구단) ;
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송진수
(한국에너지기술연구원 태양광연구단) ;
- 왕진석 (충남대학교 전자전파정보통신 공학부) ;
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이정철
(한국에너지기술연구원 태양광연구단)
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Kim, Young-Jin
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Cho, Jun-Sik
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Park, Sang-Hyun
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Yoon, Kyung-Hoon
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Song, Jin-Soo
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- Wang, Jin-Suk ;
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Lee, Jeong-Chul
- 발행 : 2009.06.25
초록
ZnO:Al 투명전도막을 유리기판위에 in-line RF-magnetron sputtering법으로 증착온도 및 증착압력에 따라 제조하고, 습식식각에 따른 박막의 표면형상 및 광학적 특성변화를 조사하였다. 초기박막은 육방정계(Hexanonal wurtzite)의 결정 구조와 (002)면의 c-축 우선배향성을 갖으며 가시광 영역에서 높은 광 투과도(T
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