한국광학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Optical Society of Korea Conference)

한국광학회 (Optical Society of Korea)
권호 표지

반사 모드 방식의 근접장 주사 광학 현미경을 이용한 표면 탄성파 필터의 영상 측정

Optical Measurement of SAW Filter Using Reflection Mode NSOM

  • 박경덕 (삼성전기-인하대 초정밀검사계측연구센터(PIMC)) ;
  • 정상철 (삼성전기-인하대 초정밀검사계측연구센터(PIMC)) ;
  • 김대찬 (삼성전기-인하대 초정밀검사계측연구센터(PIMC)) ;
  • 지원수 (삼성전기 생산기술 연구소) ;
  • 오범환 (삼성전기-인하대 초정밀검사계측연구센터(PIMC)) ;
  • 박세근 (집적형 광자기술 연구센터(OPERA)) ;
  • 이일항 (집적형 광자기술 연구센터(OPERA)) ;
  • 이승걸 (삼성전기-인하대 초정밀검사계측연구센터(PIMC))
  • 발행 : 2009.02.12
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초록

In this study, surface structure and near-field distribution of a surface acoustic wave filter were measured with both reflection mode and collection mode near-field scanning optical microscopes, and there results were compared with each other.

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