Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)
- 2009.02a
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- Pages.459-460
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- 2009
Optical Measurement of SAW Filter Using Reflection Mode NSOM
반사 모드 방식의 근접장 주사 광학 현미경을 이용한 표면 탄성파 필터의 영상 측정
- Park, Gyeong-Deok ;
- Jeong, Sang-Cheol ;
- Kim, Dae-Chan ;
- Ji, Won-Su ;
- O, Beom-Hwan ;
- Park, Se-Geun ;
- Lee, Il-Hang ;
- Lee, Seung-Geol
- 박경덕 (삼성전기-인하대 초정밀검사계측연구센터(PIMC)) ;
- 정상철 (삼성전기-인하대 초정밀검사계측연구센터(PIMC)) ;
- 김대찬 (삼성전기-인하대 초정밀검사계측연구센터(PIMC)) ;
- 지원수 (삼성전기 생산기술 연구소) ;
- 오범환 (삼성전기-인하대 초정밀검사계측연구센터(PIMC)) ;
- 박세근 (집적형 광자기술 연구센터(OPERA)) ;
- 이일항 (집적형 광자기술 연구센터(OPERA)) ;
- 이승걸 (삼성전기-인하대 초정밀검사계측연구센터(PIMC))
- Published : 2009.02.12
Abstract
In this study, surface structure and near-field distribution of a surface acoustic wave filter were measured with both reflection mode and collection mode near-field scanning optical microscopes, and there results were compared with each other.
Keywords