한국광학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Optical Society of Korea Conference)
- 한국광학회 2009년도 창립 20주년기념 특별학술발표회
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- Pages.161-162
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- 2009
비점수차법이 적용된 넓은 측정범위 헤테로다인 간섭계
Wide Measurement Range Heterodyne Interferometer Using Astigmatic Position Sensing Scheme
- 발행 : 2009.10.20