한국광학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Optical Society of Korea Conference)

한국광학회 (Optical Society of Korea)

권호 표지

비점수차법이 적용된 넓은 측정범위 헤테로다인 간섭계

Wide Measurement Range Heterodyne Interferometer Using Astigmatic Position Sensing Scheme

박영규 (서강대학교 물리학과) ;
조규만 (서강대학교 물리학과) ;
김경업 (서강대학교 기계공학과) ;
김성진 (서강대학교 기계공학과) ;
이승엽 (서강대학교 기계공학과)

발행 : 2009.10.20

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