Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

SOD(Spin on doping) process for high efficiency silicon solar cell

고효율 실리콘 태양전지 구현을 위한 SOD(Spin on doping) 공정 개발

  • Kim, Byeong-Guk (Department of Electronic Engineering, Chungju National University) ;
  • Lee, Seok-Jin (Department of Electronic Engineering, Chungju National University) ;
  • Jung, Tae-Hwan (Department of Electronic Engineering, Chungju National University) ;
  • Kim, Jung-Yeon (Department of Electronic Engineering, Chungju National University) ;
  • Park, Jae-Hwan (Department of Electronic Engineering, Chungju National University) ;
  • Lim, Dong-Gun (Department of Electronic Engineering, Chungju National University) ;
  • Yang, Kea-Joon (Department of Electronic Engineering, Chungju National University)
  • Published : 2009.06.18
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Abstract

저가격 고효율 실리콘 태양전지를 구현하기 위하여 핵심적으로 적용되는 공정인 SOD(Spin on Doping) 확산공정 최적화에 관하여 연구하였다. n-type 도핑 물질로는 인(P509)을 사용하였으며, Spinning 속도와 Spinning 시간을 각 3000 rpm, 30 초로 고정하고 급속 열처리로에서 확산 온도와 확산 시간을 $800\;^{\circ}C\;{\sim}\;950\;^{\circ}C$, 2 분에서 20 분까지 가변하며 확산공정을 실시하였다. 4-Point Probe 장비로 에미터 표면 저항을 측정한 결과 확산 온도 $850\;^{\circ}C$에서 5분간 열처리 하여 확산 공정을 하였을 때 저가의 고효율 실리콘 태양전지를 구현하는데 적용 하기위한 $30\;{\sim}\;50\;{\Omega}$-sq의 에미터 표면 저항을 만족 시키는 $36\;{\Omega}$-sq의 값을 얻을 수 있었다.

Keywords