한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
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- Pages.233-234
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- 2009
박막 재료의 면저항 측정기 개발
A Development of Sheet Resistance Meter for Thin Film Materials
- Kang, Jeon-Hong (KRISS) ;
- Yu, Kwang-Min (KRISS) ;
- Kim, Han-Jun (KRISS) ;
- Han, Sang-Ok (Chungnam National Univ.)
- 발행 : 2009.06.18
초록
박막 재료의 면저항 측정은 일반적으로 FPP(Four-Point Probe)원리를 적용한 측정기률 사용하고 있다. 개발된 면저항 측정기의 특징은 dual configuration 기술을 적용하여 탐침 간격에 대한 시료의 크기 및 두께에 대한 보정계수를 고려하지 않아도 되므로 누구나 업고 정확하게 사용 할 수 있다. 측정범위는