Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

The Investigation of Biosensor for Detecting CEA by using FBAR

FBAR를 이용하여 CEA 검출을 위한 바이오 센서에 관한 연구

  • Lee, Jae-Won (Department of Information and Communication, SungKyunKwan University) ;
  • Gang, Seung-Gu (Department of Information and Communication, SungKyunKwan University) ;
  • Lee, Tae-Yong (Department of Information and Communication, SungKyunKwan University) ;
  • Song, Joon-Tae (Department of Information and Communication, SungKyunKwan University)
  • 이재원 (성권관대학교 정보통신공학부) ;
  • 강승구 (성권관대학교 정보통신공학부) ;
  • 이태용 (성권관대학교 정보통신공학부) ;
  • 송준태 (성권관대학교 정보통신공학부)
  • Published : 2009.06.18
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Abstract

FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator)는 높은 민감도와 실리콘기판을 활용한 집적화의 가능화 때문에 최근 부각되고 있는 바이오센서이다. 특히 AlN 압전층을 이용한 FBAR는 배향특성이 우수하고 높은 음향속도를 가지는 장점을 가지고 있다. 본 논문에서는 AlN의 Full Width at Half Maximum(FWHM)값이 $0.23^{\circ}$인 우수한 (002) 방향의 FBAR를 제작한 후 상부 전극위에 Anti-CEA와 CEA를 흡착하여 공진주파수의 변화를 조사하였다. 그 결과 Anti-CEA 흡착 후와 CEA 흡착 후 공진주파수의 변화는 각각 832.875KHz, 941.748KHz이였으며, 각각 3496 $Hz{\cdot}cm^2/ng$, 3482 $Hz{\cdot}cm^2/ng$의 높은 민감도를 확인하였다.

Keywords