한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
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- Pages.155-155
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- 2009
AC PDP 보호막 doped MgO 박막의 전기적 특성
Electrical Properties of MgO Films as a Protective Layer for AC PDPs
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김창일
(한국세라믹기술원)
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정영훈
(한국세라믹기술원)
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이영진
(한국세라믹기술원)
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백종후
(한국세라믹기술원)
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최은하
(광운대학교)
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- 정석 ((주)씨앤켐) ;
- 김정석 ((주)씨앤켐)
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Kim, Chang-Il
(Korea Institute of Ceramic Engineering and Technology)
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Jung, Young-Hun
(Korea Institute of Ceramic Engineering and Technology)
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Lee, Young-Jin
(Korea Institute of Ceramic Engineering and Technology)
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Paik, Jong-Hoo
(Korea Institute of Ceramic Engineering and Technology)
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Choi, Eun-Ha
(Kwangwoon Univ.)
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- Jung, Seok (C&Chem) ;
- Kim, Jeong-Seok (C&Chem)
- 발행 : 2009.06.18
초록
AC-PDP의 유전체 보호막 물질로 사용 종인 다결정 MgO의 전기적 특성을 개선하기 위하여 본 연구에서는 MgO에 doping 물질과 첨가량에 따른 전기적 특성을 고찰하였다. 박막을 증착시키기 위해 MgO pellet target을 만드는데 이때 pellet의 밀도, XRD, 비커스경도, 파괴인성, 표면 grain size와 이차전자방출계수와의 관계 및 박막의 표면거칠기, 표면의 형태, 투과율과 이차전자방출계수와의 관계를 고찰하였다. 이에 여러 dopant를 첨가하여 특성 평가한 실험데이터를 정리하여 이차전자방출계수와의 연계성을 조사 하였다.