한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
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- Pages.78-79
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- 2009
Ga-doped ZnO 투명전도막의 RFID 안테나 응용
RFID Antenna Based on Ga-doped ZnO Transparent Conducting Oxide
- Han, Jae-Sung (Chungju National University) ;
- Lee, Seok-Jin (Chungju National University) ;
- Jung, Tae-Hwan (Chungju National University) ;
- Kim, Jeong-Yeon (Chungju National University) ;
- Park, Jae-Hwan (Chungju National University) ;
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Lim, Dong-Gun
(Chungju National University) ;
- Lim, Seong-Woo (Chungju National University)
- 발행 : 2009.06.18
초록
본 연구에서는 ZnO계 투명전극 소재를 이용하여 RFID 태그 안테나에 적용 가능성 여부를 확인하였다. Si 기판위에 RF 스퍼터링 공정에 의해 Ga-doped ZnO 투명 마이크로스트립 스파이혈 안테나를