한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
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- Pages.53-53
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- 2009
Remote PECVD를 이용한 ZnO 박막의 공정변수와 구조연구
Study on process parameters and structural properties of ZnO film deposited by remote PECVD
- 정현영 (군산대학교) ;
- 정용호 (국가핵융합연구소) ;
- 추원일 (군산대학교) ;
- 장수욱 (국가핵융합연구소) ;
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이봉주
(국가핵융합연구소)
;
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김기동
(군산대학교)
;
- 이준영 (한국유리공업(주)) ;
- 권성구 (군산대학교)
- Jung, Hyun-Young (Kunsan National University) ;
- Jung, Yong-Ho (National Fusion Research Institute) ;
- Choo, Won-Il (Kunsan National University) ;
- Jang, Soo-Ouk (National Fusion Research Institute) ;
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Lee, Bong-Ju
(National Fusion Research Institute)
;
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Kim, Ki-Dong
(Kunsan National University)
;
- Lee, Jun-Young (Hankuk Glass Industries Inc.) ;
- Kwon, Sung-Ku (Kunsan National University)
- 발행 : 2009.06.18
초록
박막태양전지의 투명전도막으로 응용이 기대되는 ZnO 박막을 원격 유도결합플라즈마를 이용하여 고속으로 증착활 수 있는 공정기술을 개발하기 위하여 기판온도, 가스조성 플라즈마 파워와 같은 공정변수에 대하여 실험하였다. 실험결과 증착속도는 소스유량을 고정한 경우, 온도가 증가할수록 감소하며,
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