한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
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- Pages.21-21
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- 2009
Anorthite 글라스 프릿이 첨가된 감광성 은 페이스트의 전기적 특성 및 부착력 특성 평가
Effect of Anorthite Glass Frit on the Electrical and Adhesion Properties of Photosensitive Silver Paste
- 이은혜 (한국세라믹기술원) ;
- 김효태 (한국세라믹기술원) ;
- 임종우 (한국세라믹기술원) ;
- 윤영준 (한국세라믹기술원) ;
- 김종희 (한국세라믹기술원) ;
- 박은태 (삼성전기) ;
- 이종면 (삼성전기) ;
- 백운규 (한양대학교)
- Lee, Eun-Heay (Korea Institute of Ceramic Engineering and Technology) ;
- Kim, Hyo-Tae (Korea Institute of Ceramic Engineering and Technology) ;
- Lim, Jong-Woo (Korea Institute of Ceramic Engineering and Technology) ;
- Yoon, Young-Joon (Korea Institute of Ceramic Engineering and Technology) ;
- Kim, Jong-Hee (Korea Institute of Ceramic Engineering and Technology) ;
- Park, Eun-Tae (eMD Lab., Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd.) ;
- Lee, Jong-Myun (eMD Lab., Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd.) ;
- Paik, Un-Gyu (Nano Device Processing Lab., Hanyang University)
- 발행 : 2009.06.18
초록
후막 광식각 기술을 이용하여 형성된 Ag 전극과 LTCC 기판 사이의 접착력을 향상시키기 위하여 무기 바인더로서 anorthite, diopside 및 MLS-62 glass frit을 첨가하여 감광성 Ag paste를 제조하였다. 소성 후의 glass pool effect를 감소시키기 위해 attrition mill을 통하여 미세 glass 분말을 준비하였다. Glass frit은 Ag powder의 5vol%~25vol%의 함량으로 첨가하여 감광성 Ag paste를 제조하였고 패턴 형성 후
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