마이크로 블라스터를 이용한 태양전지용 재생웨이퍼에 관한 연구

  • 이윤호 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
  • 공대영 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
  • 정상훈 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
  • 김상원 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
  • 김동현 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
  • 서창택 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
  • 조찬섭 (경북대학교 상주캠퍼스 산업전자전기공학부) ;
  • 이종현 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부)
  • Published : 2009.11.12

Abstract

Solar cells has been studied mainly the high efficiency and lower prices. Using recycling wafer as a way to realize their money in it, there is a way to manufacture a solar cell substrate. How to play the recycling wafer, CMP(Chemical Mechanical Polishing) and remelting process is the complex and the expensive equipment. However, using the Micro-Blaster, the process easier, and cheaper prices. Micro-Blaster confirmed that the remaining amount of material left after the process recycling wafer surface.

Keywords