Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2009.05a
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- Pages.52.2-52.2
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- 2009
High frequency and high power PECVD를 이용한 thin film solar cell용 microcrystalline Si 증착
- Published : 2009.05.21
Abstract
Si 박막형 solar cell은 Si 결정형 solar cell대비 cost 및 대면적화 측면에서 장점을 가지고 있다. 그러나 amorphous Si의 경우 light soacking에 의한 열화 문제가 있고, microcrystalline Si의 경우 요구되는 효율 확보를 위하여