Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2009.11a
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- Pages.37.2-37.2
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- 2009
실리콘의 정제 효과에 미치는 반복 플라즈마 용해의 영향
- Choe, Guk-Seon ;
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Im, Jae-Won
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Jo, Seong-Uk
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- O, Jeong-Min ;
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Kim, Jun-Su
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- Ha, Beom-Yong ;
- Kim, Dong-Ho
- 최국선 (한국지질자원연구원) ;
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임재원
(한국지질자원연구원)
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조성욱
(한국지질자원연구원)
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- 오정민 (한국지질자웡연구원) ;
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김준수
(한국지질자원연구원)
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- 하범용 ((주)이노베이션실리콘) ;
- 김동호 ((주)이노베이션실리콘)
- Published : 2009.11.05
Abstract
태양전지 산업의 급속한 발전에 따라 고순도 실리콘을 경제적으로 제조하려는 노력이 경주되고 있다. 이중금속 실리콘(MG)의 정제에 의한 태양전지 실리콘(SoG) 제조에관한 연구가 더욱 더 주목받고 있다. 본 연구에서는 고순도 금속 실리콘 정제 연구의 일환으로 금속 실리콘에 대한 플라즈마 용해시 불순물 정제 가능성에 대한 기초연구를 수행하였다. 먼저 4N 급 Ar 금속 실리콘을 출발물질로 하여 반복 용해횟수(용해시간)를 달리하여 200g 급 Si button을 제조하였다. 이후 화학적 분석법으로 B, P 및 미량 금속 불순물 평가를 실시하였으며, 이로부터 Ar 플라즈마의 정제 효과를 분석하고자 하였다.