Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2009.05a
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- Pages.269-270
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- 2009
Effect of Volume Fraction of Lubricant Additives on Characteristics of Diamond Micro Blade
다이아몬드 마이크로 블레이드에 있어 윤활 첨가제의 부피분율에 따른 특성
- Published : 2009.05.27
Abstract
본 연구는 윤활첨가제에 의한 반도체재료 가공용 다이아몬드 마이크로 블레이드의 절삭성능 향상과 수면연장을 위한 기술개발을 목표로 한다. 마이크로 블레이드와 피 절삭재 사이의 마찰특성의 향상, 그로인한 절삭성능의 향상 등에 미치는 윤활제의 종류와 그 효과를 규명하기 위하여 Cu/Sn계열 다이아몬드 마이크로 블레이드용 결합제에 흑연과
Keywords