한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.135-135
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- 2009
RF 스퍼터링법에 의해 증착한 ZIO 박막의 물성에 미치는 In 함량과 기판온도의 영향
Effects of In concentration and substrate temperature on properties of ZIO films deposited by RF magnetron sputtering
- 발행 : 2009.05.27
초록
ZIO 박막은 RF 마그네트론법으로 다양한
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