한국소음진동공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference)

한국소음진동공학회 (The Korean Society for Noise and Vibration Engineering)
권호 표지

스핀코터의 진동 분석을 통한 이상 진단 시스템 개발

Development of Fault Diagnosis System for Spin Coaters using Vibration Assessment

  • 문준희 (서울대학교 마이크로열시스템 연구센터) ;
  • 박희재 (서울대학교 기계항공공학부)
  • 발행 : 2009.04.23
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