한국소음진동공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference)

한국소음진동공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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Pages.579-580
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2009
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1598-2548(pISSN)

한국소음진동공학회 (The Korean Society for Noise and Vibration Engineering)

권호 표지

반도체 장비용 전자기식 능동 제진 장치의 성능 예측 평가

Performance Estimation of Active Electro-Magnetic Isolator for Semiconductor Manufacturing Machine

김형태 (생산기술연) ;
김철호 (생산기술연) ;
이강원 (생산기술원) ;
이규섭 ;
손성완 ;
전종균 (선문대)

Kim, H.T. ;
Kim, C.H. ;
Lee, K.W. ;
Lee, G.S. (RMS Tech) ;
Son, S.W. (RMS Tech) ;
Chun, C.K.

발행 : 2009.04.23

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