대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2009년도 춘계학술대회 논문집 에너지변화시스템부문
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- Pages.248-250
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- 2009
결정질 태양전지에서 니켈 전극 사용을 위한 열처리 방안
The annealing method of nickel electrode for C-silicon solar cell
- 정우원 (성균관대학교 태양광발전시스템협동과정) ;
- 김성철 (성균관대학교 태양광발전시스템협동과정) ;
- 경도현 (성균관대학교 태양광발전시스템협동과정) ;
- 권태영 (성균관대학교 태양광발전시스템협동과정) ;
- 이영석 (성균관대학교 태양광발전시스템협동과정) ;
- 허윤성 ;
- 박승일 ;
- 이준신 (성균관대학교 정보통신공학부)
- Jung, W.W. (SKKU Interdisciplinary Program in Photovaltaic System Engineering) ;
- Kim, S.C. (SKKU Interdisciplinary Program in Photovaltaic System Engineering) ;
- Kyung, D.H. (SKKU Interdisciplinary Program in Photovaltaic System Engineering) ;
- Kwon, T.Y. (SKKU Interdisciplinary Program in Photovaltaic System Engineering) ;
- Lee, Y.S. (SKKU Interdisciplinary Program in Photovaltaic System Engineering) ;
- Heo, Y.S. (DMS) ;
- Park, S.I. (DMS) ;
- Yi, J.S. (SKKU Information & Communication)
- 발행 : 2009.04.23
초록
고효율 태양전지를 위한 결정질 태양전지의 구조 중 UNSW에서 개발한 BCSC(buried contact solar cell)가 있는데, 이는 전면 전극을 laser 처리 후 무전해 니켈 도금으로 형성한 것이다. 이같은 전면 전극을 형성하기 위해서는 무전해 nickel 도금 후 열처리가 필수적이다. 우리는 이 공정을 확립하기 위해 결정질 wafer에 후면을 PECVD로 SiNx막을 형성하여
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