Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

The annealing method of nickel electrode for C-silicon solar cell

결정질 태양전지에서 니켈 전극 사용을 위한 열처리 방안

  • Jung, W.W. (SKKU Interdisciplinary Program in Photovaltaic System Engineering) ;
  • Kim, S.C. (SKKU Interdisciplinary Program in Photovaltaic System Engineering) ;
  • Kyung, D.H. (SKKU Interdisciplinary Program in Photovaltaic System Engineering) ;
  • Kwon, T.Y. (SKKU Interdisciplinary Program in Photovaltaic System Engineering) ;
  • Lee, Y.S. (SKKU Interdisciplinary Program in Photovaltaic System Engineering) ;
  • Heo, Y.S. (DMS) ;
  • Park, S.I. (DMS) ;
  • Yi, J.S. (SKKU Information & Communication)
  • 정우원 (성균관대학교 태양광발전시스템협동과정) ;
  • 김성철 (성균관대학교 태양광발전시스템협동과정) ;
  • 경도현 (성균관대학교 태양광발전시스템협동과정) ;
  • 권태영 (성균관대학교 태양광발전시스템협동과정) ;
  • 이영석 (성균관대학교 태양광발전시스템협동과정) ;
  • 허윤성 ;
  • 박승일 ;
  • 이준신 (성균관대학교 정보통신공학부)
  • Published : 2009.04.23
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Abstract

고효율 태양전지를 위한 결정질 태양전지의 구조 중 UNSW에서 개발한 BCSC(buried contact solar cell)가 있는데, 이는 전면 전극을 laser 처리 후 무전해 니켈 도금으로 형성한 것이다. 이같은 전면 전극을 형성하기 위해서는 무전해 nickel 도금 후 열처리가 필수적이다. 우리는 이 공정을 확립하기 위해 결정질 wafer에 후면을 PECVD로 SiNx막을 형성하여 $30\Omega/\square$로 도핑한 후 후면을 불산으로 제거한 상태에서 양면을 니켈 무전해 도금으로 전극을 형성하여 $300^{\circ}C,\;350^{\circ}C,\;400^{\circ}C$에서 각각 3,6,9분간 진행하였다. 그 결과 $400^{\circ}C$에서 3분간 열처리된 sample이 상대적으로 가장 명확한 IV curve를 형성하였다. 이 실험의 결과는 PN 접합 구조에서 전극을 nickel로 사용할 때 유용하게 사용될 수 있다.

Keywords