Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference (한국소음진동공학회:학술대회논문집)

  • 2009.10a
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  • Pages.433-434
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  • 2009
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  • 1598-2548(pISSN)
The Korean Society for Noise and Vibration Engineering (한국소음진동공학회)
권호 표지

Vibration test and analysis of the nano-imprinting stage by using laser-vibrometer and MSC/NASTRAN

레이져 바이브로 미터와 MSC/NASTRAN을 이용한 나노 임프린팅 스테이지의 진동 실험 및 해석

  • 이성훈 (국민대학교 자동차 전문대학원) ;
  • 이정석 (국민대 자동차전문대학원) ;
  • 정재일 (국민대 기계자동차공학부) ;
  • 임홍재 (국민대 기계자동차공학부)
  • Published : 2009.10.29
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Abstract

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