한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.1027-1028
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- 2009
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- 2005-8446(pISSN)
대면적 미세형상 가공기의 직선/회전 다축 오차 측정
Measurement of multi-axes errors between linear and rotational tables of a ultra-precision machine tools for generating micro patterns on the large surfaces
- 발행 : 2009.06.03