Fabrication of Anti-reflection nanostructures by using Interference and Nano-imprinting Lithography

나노임프린팅 및 간섭 리소그래피를 이용한 반사방지 나노 구조 제작

  • 임형준 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부) ;
  • 장환수 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부) ;
  • 이재종 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부)
  • Published : 2009.06.03