Patterning of Conductive Nanoink by Cross-Nanoimprint

Cross-Nanoimprint 공정을 이용한 전도성 나노구조물 제작

  • 김영자 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) ;
  • 박수연 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) ;
  • 장환수 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) ;
  • 이재종 (한국기계연구원 나노공정장비연구실)
  • Published : 2009.06.03