Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2009.06a
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Pages.873-874
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2009
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Moire Aligning Technology for UV NanoImprint

나노 임프린팅 공정에서의 모아레 정렬 기술

김기홍 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부) ;
이재종 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부) ;
최기봉 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부) ;
임형준 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부)

Published : 2009.06.03

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