Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2009.06a
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- Pages.871-872
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- 2009
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- 2005-8446(pISSN)
Constant Linear Velocity Control of E-beam Mastering Stages using PMAC Controller
PMAC 제어기를 이용한 전자빔 마스터링 스테이지의 일정선속도 동기제어
- Khim, G. ;
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Shim, J.Y.
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Park, C.H.
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Song, C.K.
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- Lee, S.J.
- 김경호 (한국기계연구원 지능형생산시스템연구본부) ;
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심종엽
(한국기계연구원 지능형생산시스템연구본부)
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박천홍
(한국기계연구원 지능형생산시스템연구본부)
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송창규
(한국기계연구원 지능형생산시스템연구본부)
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- 이성재 ((주) 델타타우 코리아)
- Published : 2009.06.03