Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2009.06a
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- Pages.825-826
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- 2009
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- 2005-8446(pISSN)
Surface Energy Control for Hidrophobic and Hydrophile of MEMS Device
MEMS Device의 소수성과 친수성을 위한 표면 에너지 제어
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Han, A.R.
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- Lee, H.J. ;
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Lee, N.K.
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Song, J.H.
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Park, Y.P.
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- Park, G.S.
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한아름
(한국생산기술연구원 융복합기술연구본부)
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- 이혜진 (한국생산기술연구원 융복합기술연구본부) ;
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이낙규
(한국생산기술연구원 융복합기술연구본부)
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송정한
(한국생산기술연구원 융복합기술연구본부)
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박영필
(연세대학교 기계공학과)
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- 박경수 (연세대학교 기계공학과)
- Published : 2009.06.03
Abstract
Keywords
- EWOD;
- Electrowetting-on-dielectric;
- Hidrophobem Hydrophile;
- CF gas;
- Ar gas;
- Surface energy;
- Contact angle